產(chǎn)品詳情
艾柯超純水設(shè)備中央純水系統(tǒng)作為專注滿足高精度用水需求的解決方案，在半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備領(lǐng)域展現(xiàn)出多維度核心優(yōu)勢，全方位契合半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室晶圓清洗、光刻工藝、材料檢測等關(guān)鍵場景的嚴(yán)苛用水標(biāo)準(zhǔn)。
水質(zhì)頂尖，匹配實(shí)驗(yàn)室核心需求：針對實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備對水質(zhì)的要求，系統(tǒng)采用 RO+EDI 雙級純水技術(shù)，水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)超常規(guī)要求，不僅優(yōu)于 GB6682-2008 一級水標(biāo)準(zhǔn)，更實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)率低于 0.055μS/cm、TOC≤5ppb、電阻率≥18.2MΩ?cm 的超高純度，可直接滿足納米級實(shí)驗(yàn)、芯片研發(fā)檢測等高精度用水場景，避免水質(zhì)雜質(zhì)影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果與產(chǎn)品質(zhì)量。
一機(jī)雙用，覆蓋實(shí)驗(yàn)室多元場景：作為高效的實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備，系統(tǒng)可同時(shí)制取純水與超純水，既能為實(shí)驗(yàn)室的玻璃器皿清洗、設(shè)備冷卻提供合格純水，又能為晶圓光刻、封裝測試等核心工藝供應(yīng)超純水，無需額外配備多臺設(shè)備，大幅節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間與采購成本。
智能操控，降低實(shí)驗(yàn)室運(yùn)維壓力：考慮到實(shí)驗(yàn)室對設(shè)備穩(wěn)定性與便捷性的需求，實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備（艾柯中央純水系統(tǒng)）配備 AK 專用 PLC 微電腦終端，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化運(yùn)行。具備自動(dòng)液位保護(hù)、自動(dòng)壓力控制等功能，無需專人 24 小時(shí)看守，操作人員僅需簡單培訓(xùn)即可上手，有效減少實(shí)驗(yàn)室人力投入。
實(shí)時(shí)監(jiān)測，保障半實(shí)驗(yàn)用水安全：系統(tǒng)配置雙路雙顯雙檢測顯示儀，針對半實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備的關(guān)鍵水質(zhì)參數(shù)，可實(shí)時(shí)檢測并顯示 RO 純水、UP 純水的電導(dǎo)率、溫度、電阻率等數(shù)據(jù)，實(shí)驗(yàn)室科研人員能隨時(shí)掌握水質(zhì)動(dòng)態(tài)，避免因水質(zhì)波動(dòng)導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)中斷或數(shù)據(jù)偏差，為實(shí)驗(yàn)可靠性提供有力保障。
穩(wěn)定耐用，適配半實(shí)驗(yàn)室長期運(yùn)行：作為專為高頻率使用場景設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備，系統(tǒng)具備完善的保護(hù)機(jī)制 —— 開機(jī)自檢可提前排查故障，缺水保護(hù)警報(bào)、停電自動(dòng)復(fù)位、純水桶滿水自動(dòng)關(guān)機(jī)等功能，能有效應(yīng)對實(shí)驗(yàn)室復(fù)雜用水環(huán)境；同時(shí)支持 RO 膜自動(dòng)清洗，減少設(shè)備損耗，延長使用壽命，降低半實(shí)驗(yàn)室的長期維護(hù)成本。
優(yōu)質(zhì)配件，筑牢用水純度防線：在半實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備的核心部件選擇上，系統(tǒng)配備原裝進(jìn)口 RO 反滲透膜，不僅能高效過濾水中雜質(zhì)、離子，保證純水水質(zhì)穩(wěn)定，更能減少后級純化柱、超純化柱的負(fù)荷，延長耗材使用壽命，進(jìn)一步降低實(shí)驗(yàn)室的耗材更換成本。
模塊化設(shè)計(jì)，靈活適配實(shí)驗(yàn)室布局：艾柯半實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備（中央純水系統(tǒng)）采用一體式組合封閉設(shè)計(jì)，集成化、模塊化程度高，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的空間大小、用水點(diǎn)位分布靈活安裝，后期更換配件、維修維護(hù)時(shí)無需大面積拆卸，不影響實(shí)驗(yàn)室正常實(shí)驗(yàn)進(jìn)度。
實(shí)驗(yàn)室綠色需求：系統(tǒng)引入前沿的 EDI 電除鹽技術(shù)，在保障半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備水質(zhì)達(dá)標(biāo)的同時(shí)，優(yōu)化水資源利用效率，將水利用率提升至 65%，減少廢水排放，既降低實(shí)驗(yàn)室的水費(fèi)支出，又契合綠色實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)理念。
售后完善，解決實(shí)驗(yàn)室后顧之憂：針對實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備的專業(yè)運(yùn)維需求，艾柯提供全流程售后服務(wù)，包括設(shè)備上門安裝調(diào)試、實(shí)驗(yàn)室操作人員技術(shù)培訓(xùn)，以及定期上門維護(hù)檢測，確保實(shí)驗(yàn)室的超純水設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行，為科研與生產(chǎn)工作保駕護(hù)航。
