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主要由真空室、蒸發(fā)源、膜厚監(jiān)測(cè)儀、樣品臺(tái)、真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、 PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成。

主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì)，操控方便;結(jié)構(gòu)緊湊，

HDPE占地面積小。

主要用途:

1.開(kāi)發(fā)納米級(jí)單層、多層及復(fù)合膜層等。

2.制備金屬膜、合金膜、半導(dǎo)體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等，例:銀、鋁、銅、C60、BCP......

應(yīng)用領(lǐng)域:

1.高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品等。

2.鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、OLED、OPV太陽(yáng)能電池等行業(yè)。

產(chǎn)品參數(shù)

外形 尺 寸 3100mm(W)*2800mm(D)*3200mm(H)

電 壓 380V

功 率 ≤10.5KW

基 片 臺(tái) 140mm*140mm(可根據(jù)客戶基片定制)

真 空 室 1500mm(W)*1500mm(D)*1500mm(H)

SUS304不銹鋼方形腔體，前后開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，可獨(dú)立使用，也可與手套箱對(duì)接使用

真空系統(tǒng) 分子泵+機(jī)械泵

極限真空 優(yōu)于3*10·5Pa

恢復(fù)真空時(shí)間 達(dá)到7x10-4Pa≤25min

金屬蒸發(fā)源 2-4組蒸發(fā)源(可選)

有機(jī)蒸發(fā)源 束源爐式有機(jī)蒸發(fā)源自帶控溫0-700℃可調(diào)

2-4組蒸發(fā)源(可選)

電控 系 統(tǒng) PLC觸摸屏控制，程序互鎖保護(hù)及異常報(bào)警

選 配 冷卻循環(huán)水機(jī)/膜厚監(jiān)控儀/基片臺(tái)加熱或水冷

掩膜板mask/蒸發(fā)電源/鎢舟鉬舟