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OTFC-1550光馳機(jī)

日本電子16F雙槍，23寸光馳RF離子源

275機(jī)械泵+愛德華配套羅茨泵

HOM2R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器

出廠年份：2015年8月

日本光馳OTFC-1550鍍膜機(jī)：主要用于量產(chǎn)高精度的帶通濾光片產(chǎn)品，包括生物醫(yī)療、熒光檢測(cè)及天文觀測(cè)用的濾光片，可以使產(chǎn)品的光學(xué)性能及穩(wěn)定性進(jìn)一步得到保障，滿足生物療領(lǐng)域熒光濾光片對(duì)于高對(duì)比度、高信噪比、暗黑背景的要求。

OTFC-1550鍍膜機(jī)的基本配置是：搭載了10KV雙電子槍，750W的RF射頻離子源，光學(xué)膜厚監(jiān)控裝置（Optorun制，HOM2-R-VIS350A），低溫冷凝器（Polycold），油旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵 （Edwards E2M275）羅茨機(jī)械泵（Edwards EH1200）；多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍200層以上，膜厚可達(dá)20000nm之多。這就意味著單片鍍膜就可以達(dá)到截止深度OD5以上，不用再為了達(dá)到高OD值而再做兩片膠合了。從而大大提升了濾光片的成像質(zhì)量以及產(chǎn)品合格率。

下面介紹其中兩個(gè)特點(diǎn)：

1.光學(xué)膜厚測(cè)量控制：

OTFC-1550鍍膜機(jī)是利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過程，這就使生產(chǎn)效率得以顯著提高。光學(xué)膜厚監(jiān)控技術(shù)已經(jīng)成為當(dāng)今光學(xué)薄膜成膜自動(dòng)化的核心技術(shù)。可以對(duì)薄膜的厚度進(jìn)行無損的、實(shí)時(shí)的測(cè)量，并在達(dá)到所需厚度時(shí)能及時(shí)給出控制信號(hào)。這就意味著鍍膜更精準(zhǔn)，公差更小，可以做到±0.1nm。

2. RF射頻離子源：

（1）加工精度高，便于控制。離子束可以通過離子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行聚焦掃描，可以控制尺寸范圍。高離子電流密度和均勻分布，照射面積能達(dá)到Ф1150mm以上。

（2）同使用燈絲型的離子源比較，它的壽命長(zhǎng)，污染少。

（3）加工應(yīng)力、變形極小。離子束加工工藝是一種原子級(jí)或分子級(jí)的微細(xì)加工，作為一種微觀作用，其宏觀壓力很小，適合于各種材料和低剛度工件的加工，而且加工表面質(zhì)量高。

（4） 動(dòng)作安定性高，能長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)。

3.鍍膜機(jī)明細(xì)參數(shù)：

真空室SUS304,Ф1300mm×1500mm(H)基板架4片式工作架（或Ф1200 mm）基板架轉(zhuǎn)速30rpm(可調(diào))晶振式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器蒸發(fā)源電子槍1臺(tái)性能極限真空7.0×10-5Pa以下抽氣速度10分（大氣壓～3.0×10-3Pa）基板加熱溫度350℃安裝要求安裝空間約4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)電力3相，200V，50/60Hz，約80KVA水流量100升/分以上壓縮空氣壓力0.5-0.7MPa重量約5000kg

	RMB20000	RMB250000	RMB150000	RMB180000
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