產(chǎn)品詳情
日本光馳OTFC-1550MM光學鍍膜機含安裝調(diào)試出售介紹
OTFC-1550光學鍍膜機配置
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真空室：SUS304,Ф1550*1800MM |
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工件架：Ф1400 |
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工件架轉(zhuǎn)速：10rpm to 30rpm (可變) |
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光學膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A |
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光學膜厚監(jiān)控儀：波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式 |
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水晶式膜厚計：XTC/3+6點式水晶傳感器 |
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蒸發(fā)源：2套日本電子24P雙槍 |
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離子源：23 寸光馳RF離子源 |
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排氣系統(tǒng)：機械泵1個，擴散泵Polycold 275機械泵+愛德華配套羅茨泵 |
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性能 |
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達到壓力：7. 0X10-5Pa以下 |
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排氣時間：20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa) |
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基板溫度： 350C |
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工作條件 |
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電源：3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA |
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水流量：180升/分以上 |
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空氣壓力：0.5MPa以上 |
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重量：約11000kg |
1、光學真空鍍膜設備主要部件制造所用原材料應符合相應材料標準的規(guī)定，并具有質(zhì)量證書。
二、設備零件的機械加工質(zhì)量和焊接質(zhì)量應符合制造商技術文件的規(guī)定。
3、設備的裝配質(zhì)量應符合制造商技術文件的規(guī)定。裝配時，應有效清潔和干燥工作中真空部件的表面。裝配后，運動部件應靈活穩(wěn)定。
4、設備涂層沉積源、離子轟擊、工件偏壓、工件加熱、膜厚監(jiān)測等設備應逐項調(diào)試，性能應符合設計要求，運行可靠。設備應在工件加熱過程中正常運行。
5、設備配備的自制或采購的泵、閥、表、計等機電部件均符合相應產(chǎn)品標準的規(guī)定，并應具有質(zhì)量證書或經(jīng)廠家檢驗部門檢驗合格后方可使用。
六、配套設備的電氣設備的制造質(zhì)量應符合制造商技術文化的規(guī)定，并保證設備運行的安全可靠。裝置中線路的布置應整齊清晰，便于維護。裝置中各電路的絕緣電阻值為500V對于501-10000，以下不得低于2V，不得低于2.5；對于1001-3000V，不得低于3.5，對于3001-10000V，不得低于6
七、設備漆面應光滑、美觀、牢固，無剝落脫皮現(xiàn)象。
日本光馳OTFC-1550MM光學鍍膜機含安裝調(diào)試出售照片
